## Exercício 14-17, pg 354, ## Montgomery, Estatística aplicada e probabilidade para Engenheiros, 4 ed. ## Um experimento foi realizado em uma planta de fabricação de semicondutores, como ## um esforço para aumentar o rendimento. Cinco fatores, cada um com dois níveis, foram ## estudados. Os fatores (e níveis) foram A = abertura (peq, grande), B = tempo de ## exposição (20% abaixo, 20% acima do valor nominal), C = tempo de desenvolvimento ## (30, 40 s), D = dimensão da máscara (peq, grande), e E = tempo de ataque químico ## (14.5, 15.5 min). Foi realizado um planejamento 2^5+5 pontos centrais. Os dados estão ## disponíveis abaixo. A B C D E Y -1 -1 -1 -1 -1 7 1 -1 -1 -1 -1 9 -1 1 -1 -1 -1 34 1 1 -1 -1 -1 55 -1 -1 1 -1 -1 16 1 -1 1 -1 -1 20 -1 1 1 -1 -1 40 1 1 1 -1 -1 60 -1 -1 -1 1 -1 8 1 -1 -1 1 -1 10 -1 1 -1 1 -1 32 1 1 -1 1 -1 50 -1 -1 1 1 -1 18 1 -1 1 1 -1 21 -1 1 1 1 -1 44 1 1 1 1 -1 61 -1 -1 -1 -1 1 8 1 -1 -1 -1 1 12 -1 1 -1 -1 1 35 1 1 -1 -1 1 52 -1 -1 1 -1 1 15 1 -1 1 -1 1 22 -1 1 1 -1 1 45 1 1 1 -1 1 65 -1 -1 -1 1 1 6 1 -1 -1 1 1 10 -1 1 -1 1 1 30 1 1 -1 1 1 53 -1 -1 1 1 1 15 1 -1 1 1 1 20 -1 1 1 1 1 41 1 1 1 1 1 63 0 0 0 0 0 45 0 0 0 0 0 40 0 0 0 0 0 41 0 0 0 0 0 47 0 0 0 0 0 43