Gap	Pressure	C2F6	Power	Etch
-1	-1	-1	-1	550
1	-1	-1	-1	669
-1	1	-1	-1	604
1	1	-1	-1	650
-1	-1	1	-1	633
1	-1	1	-1	642
-1	1	1	-1	601
1	1	1	-1	635
-1	-1	-1	1	1037
1	-1	-1	1	749
-1	1	-1	1	1052
1	1	-1	1	868
-1	-1	1	1	1075
1	-1	1	1	860
-1	1	1	1	1063
1	1	1	1	729